致能硅基笔直氮化镓技能引发世界热议

  

致能硅基笔直氮化镓技能引发世界热议

  ICNS是化合物半导体范畴极具影响力的世界会议。该会议会聚全球尖端科学家、工程师及工业界人士,沟通氮化物半导体的前沿效果与趋势。会议包括资料成长、器材物理及使用拓宽等内容,推进了半导体照明、通讯、动力等范畴的技能进步。自兴办以来,见证了氮化物半导体从基础研究到大规模商业使用的进程,为学术界和工业界供给了重要的协作沟通渠道,促进了科研效果的转化,加快了化合物半导体工业的开展,是该范畴不可或缺的学术盛会。

  本次15届ICNS会议会聚了氮化镓范畴来自斯坦福大学、北京大学、东京大学、法国科学院、英飞凌等全球顶尖高校、研究机构和企业的专家学者。致能作为少量在氮化镓功率器材范畴具有立异力和世界影响力的企业,受邀到会本届ICNS世界会议,并共享团队在硅基笔直氮化镓功率器材技能上获得的打破及使用远景,引发世界同行热议。

  在会议中致能表明,硅基笔直氮化镓器材架构优势明显,能打破横向结构在导电才能和散热功能上的约束,功能优异,系统集成潜力大,是推进氮化镓功率器材迈向更大功率的关键技能途径之一。

  现阶段,横向结构氮化镓的源极、栅极和漏极均坐落芯片外表,电流横向活动,具有成本低、工艺简略等优势,但相对存在导通电阻高、耐压才能会比较低、散热途径长等下风。而笔直结构氮化镓的源极在顶部,漏极在底部,电流纵向活动,其导通电阻低、耐压才能强、散热功率高,功能更优异,更适用于高压、高功率场景。

  广东致能团队全球创始硅衬底上笔直GaN/AlGaN异质结构及笔直二维电子气沟道(2DEG)的直接外延成长办法,制备出低位错密度的氮化镓鳍状结构,规划自由度高。根据此,研制出全球首个具有笔直二维电子气沟道的常开型器材及阈值电压可调的常关型器材。在工艺集成上,经过特定工艺完成全笔直电极结构布局,提高散热功率,且量产可行性高,为器材微缩和大电流功能迭代供给了空间。

  左图为广东致能成功研制全球首个笔直二维电子气氮化镓功率器材架构(成长用硅衬底没有去除),右图展现的是去除硅衬底后的笔直氮化镓器材晶圆,观察面为原硅衬底面。以这一立异架构和工艺为中心,广东致能在国内外广泛布局中心知识产权,构建了完好的专利系统,构成了巩固的技能壁垒。根据在资料外延、结构规划和工艺集成等方面的继续立异,该笔直氮化镓功率器材渠道有望成为下一代高功能氮化镓功率器材的关键技能途径。

  在本届ICNS会议上,广东致能展现了硅基笔直氮化镓功率器材的打破性效果。该团队创始硅衬底上笔直GaN/AlGaN异质结构及笔直二维电子气沟道的外延成长办法,研制出全球首个笔直二维电子气氮化镓功率器材,处理传统横向结构器材的功能瓶颈,提高散热功率且可完成量产。公司已布局多项中心知识产权,构成完好专利组合。这一立异将成为下一代高压、高功率氮化镓的关键技能打破,有望推进功率半导体工业晋级。

  广东致能半导体有限公司成立于2018年12月,公司总部在深圳,在徐州、深圳、广州、上海等地设有研制基地和商场出售中心。公司致力于第三代半导体氮化镓功率器材的研制与工业化。公司由具有20多年半导体研制经历的海外归国专家领衔创建,调集了国内外半导体器材规划制作范畴的研制及工业化人才,组建了顶尖的开发团队,在常关型、笔直沟道氮化镓功率器材等方面具有多项共同技能创造。回来搜狐,检查更加多



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